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  • 半导体检测

  • 推荐配置 MMS ATF4/6-LLC3 主动聚焦—实用于镜面/pattern样品 Z轴精度—0.165 μm/step 建议物镜—5/10/20/50/100X 物镜(N.A 不大于0.75)
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半导体检测

发布时间 : 2019-04-21 14:26

推荐配置

MMS ATF4/6-LLC

主动聚焦—实用于镜面/pattern样品                                                      

Z轴精度—0.165 μm/step

建议物镜—5/10/20/50/100X 物镜(N.A 不大于0.75) 




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