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  • 光刻(领导及检测)

  • 推荐配置 MMS ATF4 PZ-PI ZAA 主动聚焦—实用于镜面样品 Z轴精度—30 nm/step (PI压电马达) 建议物镜—20/50/100X 物镜
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光刻(领导及检测)

发布时间 : 2019-04-22 15:46
推荐配置
MMS ATF4 PZ-PI ZAA

主动聚焦—实用于镜面样品
Z轴精度—30 nm/step (PI压电马达)

建议物镜—20/50/100X 物镜




案例分析



WDI ATF4 光刻 20X


WDI ATF4 50X


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